锗单晶Ge半导体基片
LLDGe
锗单晶Ge半导体基片 1英寸 N型 P型 本征 晶向100 111 110
晶体结构 | 立方 | ||
晶格常数 | a=5.65754A | ||
密度 | 3 5.323(g/cm) | ||
硬度 | 4(mohs) | ||
熔点 | 937.4℃ | ||
生长方法 | 提拉法 | ||
掺杂物质 | 不掺杂 | 掺Sb | 掺In或Ga |
类型 | / | N | P |
电阻率Qcm | >35 | 0.05 | 0.05-0.1 |
EPD | 3 2 <4×10/cm | 3 2 <4×10°/cm | 3 2 <4×10/cm |
晶向 | <111>、<100>、<110>±0.50 | ||
尺 寸 ( m m ) | 25×25×0.5mm、10×10×0.5mm、10×5×0.5mm、 5×5×0.5mm 可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的衬底 | ||
表面粗糙度 | Surface roughness(Ra):<=5A 可提供原子粒显微镜(AFM)检测报告 | ||
抛光 | 单面或双面 | ||
包装 | 100级洁净袋,1000级超净室 | ||