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193nm激光器

193nm紫外固体激光器

产品说明:193nm紫外激光器LLQ193-3mw 193nm全固态Q开关紫外激光器具有体积小、操作简便的特点,广泛应用于紫外光刻测试、微电子、计量、材料
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193nm紫外激光器

LLQ193-3mw

 

        193nm全固态Q开关紫外激光器具有体积小、操作简便的特点,广泛应用于紫外光刻测试、微电子、计量、材料加工、半导体材料测试、科学实验等领域。


Wavelength (nm)波长

193±1

Operating mode工作方式

Actively

Average power (mW)平均功率

1-3

Rep.rate (kHz)频率

5

Pulse duration (ns)脉宽

~ 10

Single pulse energy (µJ)单脉冲能量

0. 1-0.6

Peak power(W)峰值功率

1-60

Ave power stability (rms, 4 hours±3℃)

功率稳定性

<3%

Beam diameter at the aperture (1/e2, mm)

光斑尺寸

~2×3

Polarization ratio偏振比

>50:1 Horizontal

Warm-up time (minutes)预热时间

<10

Beam height from base plate (mm)中心高

134

Cooled method制冷

Water cooled

Operating temperature (℃)工作温度

10-35

Power supply (100-240VAC)供电

220v

193电.png

193头.png