您现在的位置: 主页 > 激光器 > 紫外激光器200-400nm > 193nm激光器
193nm激光器193nm紫外激光器
LLQ193-3mw
193nm全固态Q开关紫外激光器具有体积小、操作简便的特点,广泛应用于紫外光刻测试、微电子、计量、材料加工、半导体材料测试、科学实验等领域。
Wavelength (nm)波长 | 193±1 |
Operating mode工作方式 | Actively |
Average power (mW)平均功率 | 1-3 |
Rep.rate (kHz)频率 | 5 |
Pulse duration (ns)脉宽 | ~ 10 |
Single pulse energy (µJ)单脉冲能量 | 0. 1-0.6 |
Peak power(W)峰值功率 | 1-60 |
Ave power stability (rms, 4 hours±3℃) 功率稳定性 | <3% |
Beam diameter at the aperture (1/e2, mm) 光斑尺寸 | ~2×3 |
Polarization ratio偏振比 | >50:1 Horizontal |
Warm-up time (minutes)预热时间 | <10 |
Beam height from base plate (mm)中心高 | 134 |
Cooled method制冷 | Water cooled |
Operating temperature (℃)工作温度 | 10-35 |
Power supply (100-240VAC)供电 | 220v |

