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193nm激光器

193nm激光器

产品说明:193nm激光器LLQ193-3mw193 nm调Q紫外激光器具有结构超紧凑、操作简便等特点,广泛应用于紫外光刻测试、微电子、计量学、材料加工、半导体材料检测及
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193nm激光器

LLQ193-3mw


193 nm调Q紫外激光器具有结构超紧凑、操作简便等特点,广泛应用于紫外光刻测试、微电子、计量学、材料加工、半导体材料检测及科研实验等领域。


波长(nm)

193±1

运行模式

Cw

平均功率(mW)

1-3

重复率(kHz)

5

脉冲持续时间(纳秒)

~ 10

单脉冲能量(µJ)

0. 1-0.6

峰值功率(W)

1-60

功率稳定性(均方根值,4小时±3℃)

<5%

束腰光束直径(1/e²,mm)

~2×3

偏振比

>50:1 水平

预热时间(分钟)

<10

中心高(mm)

134

制冷方式

水冷式

工作温度(℃)

10-35

电源(100–240 V AC)

220v