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193nm激光器193nm激光器
LLQ193-3mw
193 nm调Q紫外激光器具有结构超紧凑、操作简便等特点,广泛应用于紫外光刻测试、微电子、计量学、材料加工、半导体材料检测及科研实验等领域。
波长(nm) | 193±1 |
运行模式 | Cw |
平均功率(mW) | 1-3 |
重复率(kHz) | 5 |
脉冲持续时间(纳秒) | ~ 10 |
单脉冲能量(µJ) | 0. 1-0.6 |
峰值功率(W) | 1-60 |
功率稳定性(均方根值,4小时±3℃) | <5% |
束腰光束直径(1/e²,mm) | ~2×3 |
偏振比 | >50:1 水平 |
预热时间(分钟) | <10 |
中心高(mm) | 134 |
制冷方式 | 水冷式 |
工作温度(℃) | 10-35 |
电源(100–240 V AC) | 220v |