氧化锆薄膜衬底
LLYHG-10
结构 | 立方 |
生长方法 | 电弧法 |
晶格常数 | a=5.147A |
熔点 | 2700℃ |
密度 | 3 6.0g/cm |
硬度(Mho) | 8-8.5(mohs) |
纯度 | 99.99% |
热胀系数 | -6 10.3×10 /℃ |
介电常数 | ε=27 |
Size | 10×3mm,10×5mm、10×10mm、15×15mm、20×15mm Custom-made size and crystal orientation upon request |
厚度 | 0.5mm,1.0mm |
尺寸 | ±0.1mm |
厚度公差 | <±0.015m,±0.005mm for special needs) |
抛光 | Single polishing or double polishing |
晶向 | <100>、<110>、<111>etc. |
晶向公差 | ±0.5° |
边缘晶向精确度 | 2°(1°for special needs) |
晶片切角 | 适应特殊要求,晶片切角可以在1°~45°调节。 |
包装 | 100级洁净袋,1000级超净室。 |