热膨胀系数

常规晶向 晶向公差

常规尺寸及公差

常规厚度及公差

抛光

表面粗糙度

包装

<100><110>:<111> ±1°或者2°

5x5,10×5,10×10,15×15,20×15,20×20,        或者根据客户的要 求

0.5mm,1.0mm

单面或双面

Ra<10      nm(5×5μm)

100级洁净袋，1000级超净室，易氧化，真空防潮保存